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VENN桃太郎半導體流體閥 高潔凈度

產品簡介

VENN桃太郎半導體流體閥 高潔凈度
VENN 桃太郎半導體 SL-38 流體閥,是專為半導體制造高潔凈需求設計的精密控制設備,憑借嚴苛的潔凈工藝與材質選擇,可滿足半導體晶圓清洗、光刻膠涂覆、高純氣體輸送等核心環節的流體控制需求,為半導體生產的潔凈環境提供可靠保障。?
在高潔凈度實現上,該閥門從材質到工藝全程對標半導體行業標準:閥體采用 316L 不銹鋼材質,經電解拋光處理,表面粗糙度 Ra≤0.

產品型號:SL-38
更新時間:2025-12-02
廠商性質:經銷商
訪問量:413
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品牌VENN/閥天桃太郎應用領域環保,化工,能源,鋼鐵/金屬,綜合

VENN桃太郎半導體流體閥 高潔凈度

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VENN 桃太郎半導體 SL-38 流體閥,是專為半導體制造高潔凈需求設計的精密控制設備,憑借嚴苛的潔凈工藝與材質選擇,可滿足半導體晶圓清洗、光刻膠涂覆、高純氣體輸送等核心環節的流體控制需求,為半導體生產的潔凈環境提供可靠保障。
在高潔凈度實現上,該閥門從材質到工藝全程對標半導體行業標準:閥體采用 316L 不銹鋼材質,經電解拋光處理,表面粗糙度 Ra≤0.2μm,有效減少流體滯留死角,避免雜質吸附;密封件選用全氟醚橡膠(FFKM),具備優異的耐化學腐蝕性與低析出特性,長期接觸高純試劑(如氫氟酸、異丙醇)無微粒脫落,符合 SEMICON F47 潔凈標準,可適配 Class 1 級潔凈車間使用。同時,閥門內部流道采用流線型設計,無直角拐彎與臺階結構,流體通過時無湍流產生,減少因流道不規則導致的雜質堆積,進一步保障傳輸介質潔凈度。
性能上,SL-38 流體閥兼具精準控制與穩定運行優勢:采用先導式啟閉結構,響應時間≤0.1 秒,可實現高頻次精準通斷,適配半導體生產中流體劑量控制需求;調壓范圍覆蓋 0.05-1.0MPa,能穩定適配高純氮氣、氧氣等半導體制造常用氣體,以及光刻膠、顯影液等液體介質傳輸,且泄漏率≤1×10??Pa?m3/s,避免介質交叉污染。此外,閥門采用無油潤滑設計,杜絕傳統潤滑油脂可能帶來的微粒污染,后期維護時僅需常規清潔,無需拆解復雜部件,減少潔凈車間內的維護污染風險。
應用場景方面,其廣泛適用于半導體晶圓清洗設備(如單片清洗機流體控制)、薄膜沉積工藝(CVD 設備高純氣體輸送)、光刻工序(光刻膠精準分配)等環節。產品出廠前需經過 100% 氦質譜檢漏與潔凈度檢測,附帶詳細潔凈認證報告,安裝時可直接接入半導體自動化管路系統,無需額外潔凈處理,為半導體生產的高效、潔凈運行提供關鍵流體控制支撐。









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